但是，在退火过程中，Cu与low-k（比如SiCOH）介质直接接触，将会导致Cu在介质材料中扩散；而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差，一般为绝缘体，会导致RC延迟增加.以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气，使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应（Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键），在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层；通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的Mn(EtCp)2蒸气以及气态的反应副产物吹洗干净；以脉冲的方式向反应腔中通入NH3气体，同时开启等离子体发生器使其电离产生NH3等离子体，并与吸附于衬底表面的Mn(EtCp)2发生化学反应（NH3等离子体将与Mn连接的苯环键打断，并与Mn成键）!

　　直到后开发出了氮化硅锰（MnSiN）合金，氮化物才真正有效实现了冶炼添加剂的效果。氮化硅锰合金(MnSiN)中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)。锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用.锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性.氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性.

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　　氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越!氮化硅锰合金目前有5种制备方法：真空烧结法、二次氮化法、微波合成法、高温自蔓延合成法和常压一步合成法!现有的制备工艺都存在着能够进行优化改进的空间，今后将会在简化操作工艺，缩短反应时间和降低生产成本等方面继续探索改良.氮化硅锰是一种新型的钢添加剂，和常规氮化合金相比，具有优异的性能和应用优点!氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性，其较强的微合金化作用和增氮效果在取向硅钢、HRB400以上级螺纹钢钢筋等领域都得到了广泛的应用，具有市场需求!

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　　氮化硅锰具有良好的耐急热性、热传导性、化学稳定性和较小的热膨胀性.希望大家能够通过这些信息的介绍，加深对氮化硅锰的了解.欢迎广大新老用户与我公司联系，我公司不仅能向大家简单的介绍一些关于氮化硅锰的信息，同时，也能提供的氮化硅锰.通过实验室和工业试验研究,得出氮化硅锰在钢中可起到增氮作用,LF精炼后期加入氮化硅锰,氮的收得率较稳定,平均为24%！用氮化硅锰在钢中增氮不会影响钢中夹杂物的含量,成品钢的金相检验结果、低温冲击性能等均满足相应钢种的标准要求!

　　因此，氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂.近几年，氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视，从而开发出一系列高氮铁合金品种：氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等。氮化硅锰目前有5种制备方法，分别是真空烧结法、二次氮化法、微波合成法、高温自蔓延合成法和常压一步合成法!现有的制备工艺都存在着能够进行优化改进的空间，今后将会在简化操作工艺，缩短反应时间和降低生产成本等方面继续探索改良！氮化硅锰是一种新型的钢添加剂，和常规氮化合金相比，具有优异的性能和应用优点。

　　因此，氮化物是一种冶金生产中良好的添加剂！近几年，氮元素与合金元素相互作用所产生的特殊效果逐渐受到重视，从而开发出一系列高氮铁合金品种：氮化钒、氮化锰、氮化铬铁、氮化硅铁等.然而这些氮化合金，普遍存在着一些问题：对于氮化钒而言，由于钒资源有限，造成其的生产成本居高不下；使用氮化铌铁要求提高轧钢温度，国内很多轧钢设备很难达到这个要求；氮化锰和氮化铬铁，合金中氮的质量分数小于等于6%，应用价值不大；氮化钛铁中钛性质很活泼，难以控制，在钢水中收得率低。