使用真空发生器的回路中的换向阀，有供给阀和真空破坏阀。使用真空泵回路中的换向阀，有真空切换阀和真空选择阀。
供给阀是供给真空发生器压缩空气的阀。
真空破坏阀是破坏吸盘内的真空状态，将真空变成大气压或正压力，使工件脱离吸盘的阀。真空切换阀就是接通或断开真空压力源的阀。真空选择阀可控制吸盘对工件的吸着或脱离，一个阀两个功能，可以简化回路设计。