温度范围 16至26℃ 温度漂移 每小时 2.0k每24小时 5.0k温度梯度 垂直方向 1.0k/m水平方向 1.0k/m型号 C544C574测量范围 X轴 505mm(20")Y轴 405mm(16") 705mm(28")Z轴 405mm(16")测长系统基准 反射光栅 分辨率 0.0001mm(.000004")导向方式 各坐标轴上的空气轴承 测量精度(20℃±1℃)ISO 10360-2E=(1.9+3L/1000)μm (当使用TP200时) E=(1.7+3L/1000)μm (当使用SP600时) R=1.9 μm (当使用TP200时) R=1.7 μm (当使用SP600时)ANSI/ASMEB89.1.球杆性能=9μm (.00036") 重复精度=3μm (.00012")驱动速度 CNC模式 每轴定位时驱动速度 8mm/s至250mm/s(.31"/s至9.84"/s) (三轴移动时驱动速度430mm/s(16.93"/s)) 测量时驱动速度1mm/s至3mm/s(.04"/s至.12"/s)操纵杆模式 0至80mm/s(**"/s)(高速模式) 0至3mm/s(.12"/s)(低速模式) 0.05mm/s(.002"/s)(微进给模式) **测量速度 8mm/s测量加速度 各轴加速度980mm/s2(38.58"/s2) (三轴移动时合成加速度1697mm/s2(66.81"/s2))工件 高度 545mm(21.46")重量 180kg(396ibs.)质量 515kg(1133ibs.)气压 0.4Mpa空气消耗量 50升/分(在正常条件下)或1.8CFM