ETALON TCM200测量显微镜产 品 说 明 模块化结构设计 可根据需要进行光学长度测量或表面金相检验。*远心物镜，优化的照明系统。配备精密滚珠轴承工作台(150x100 250x150mm 两种量程)。增量式金属光栅尺组成的光电测量系统 计算机内核的数据处理单元 带RS232 数字输出 并有内部校准证书。· 三坐标的非接触测量无测量力· 测量分辨率0.5μm或0.00002in· 小的允许误差保证了测量的* 如150mm 长度测量的允许误差仅为2.6μm· 高承载力和宽大的测量空间 或检测较高的工件· 放大倍率达1000倍的表面结构检验 光源照明充分· 视频摄像系统可进一步进行图像分析· 测量台可手动自同移动或通过丝杠精细微位移，从而实现在每个方向上的快速定位· 带安装卡销的手镜可单手轻松转换· 插入板带十字分划线和同心圆· 带数字测量系统的测角装置· 中心支撑与用于连接孔径光阑和干涉缝的插件用于检验圆柱直径· 光纤照明避免了照明产生的热量· 透射光，同轴反射光，斜射光和环型光照明呈现图象，有亮区/暗区，同时带或不带偏振肖或干涉对比DIC· *的小巧计数装置适合2和3坐标· 用于计算机单元的数据处理软件主机及其配置:订货号/Order Number06839006068390070683900806839009带双目镜的主机√√√√35瓦透射冷光源√√√√90瓦反射冷光源√√√√测量范围为150x100毫米的工作台√√测量范围为250x150毫米的工作台√√可进行Z轴测量√√数据处理单元QUADRA-CHECK 220√√QUADRA-CHECK 230√√主机技术指标:订货号06839006068390070683900806839009测量范围(mm)150 X 100250 X 150150 X 100250 X 150轴向允许误差(1.8+0.005L) μm(2.5+0.01L) μm(1.8+0.005L) μm(2.5+0.01L) μm主机重量110kg140kg110kg140kg外型尺寸(mm)(宽X高X深）356 X 662 X 540