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SEN日森

紫外线清洗，紫外光清洗的工作原理

紫外光清洗技术是利用有机化合物的光敏氧化作用达到去除黏附在材料表面上的有机物质，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。更详尽的讲：UV光源发射波长为185nm和254nm的光波，具有很高的能量,当这些光子作用到被清洗物体表面时,由于大多数碳氢化合物对185nm波长的紫外光具有较强的吸收能力,并在吸收185nm波长的紫外光的能量后分解成离子、游离态原子、受激分子和中子，这就是所谓光敏作用。空气中的氧气分子在吸收了185nm波长的紫外光后也会产生臭氧和原子氧。臭氧对254nm波长的紫外光同样具有强烈的吸收作用,臭氧又分解为原子氧和氧气。其中原子氧是极活泼的,在它作用下,物体表面上的碳和碳氢化合物的分解物可化合成可挥发的气体：二氧化碳和水蒸气等逸出表面，从而*清除了黏附在物体表面上的碳和有机污染物。清洗时，使基板治湿性向上。玻璃基板是以滚轮方式输送，上方装置低压水银灯产生紫外线照射。玻璃基板所累积紫外线能量愈多，其表面水接触愈小，成反比关系。一般STN-LCD制作过程中，需求的玻璃基板累积紫外线能量为300nj/cm2(253.7nm)以上。而彩STN-LCD及彩色滤光片制作过程中，要求的玻璃基板累积紫外线能量600mj/cm2(253.7nm)。

适用范围

液晶显示器件、触摸屏、半导体硅芯片、集成电路、*印制电路板、光学器件、石英晶体、密封技术、带氧化膜的金属材料

主要材料：ITO玻璃、光学玻璃、铬板、掩膜板、抛光石英晶体、硅芯片和带有氧化膜的金属等进行精密清洗处理。可以去除污垢：有机性污垢、人体皮脂、化妆品油脂、树脂添加剂及聚酰亚胺、石蜡、松香、润滑油、残余的光刻胶等

使用紫外线清洗时要注意以下几个方面：（1） 污垢中的无极成分或处理后的灰分会残留在物体表面，因此需要采用相应的办法进一步清除，如加装真空除尘或与超声波干洗配套使用。（2）处理时，当清洗对象表面与照射光源距离稍远时，产生的臭氧会自动分解失去作用，一定要注意清洗表面与光源的距离，也就是注意平台或传送带上工件的高度或厚度。（3）这种处理方法要求紫外线能透过清洗对象表面，对有立体结构的清洗对象不太适合，只能清洗表面结构的物体。（4）由于需防止臭氧扩散对人体造成损害，需要在封闭装置中进行清洗。（5）由于臭氧是通过氧化反应去除污垢的，所以容易被氧化的表面不能用这种方法处理。

1光清洗产品

1-1灯管

SUV90UH-34，SUV90UH-42，SUV90US-43，SUV90UH-43，SUV90UH-52

SUV90UH-88，SUV90US-88，SUV90US-93L，SUV90UH-A0，SUV90UH-A2

SUV90US-53，SUV90UH-53，SUV90US-99，SUV90UH-99

SUV110US-43，SUV110UH-43，SUV110US-88，SUV110UH-88

SUV110US-53，SUV110UH-53，SUV110US-99，SUV110UH-99

EUV200US，EUV200UH，EUV200NS，EUV200NH

SUV110GS-36，EUV200GS-14，SUV110PL-23A，EUV200PL-19

MSW-90，EUV250WH-1L，EUV200US-77，EUV200US-43

SUV110UH-94，SUV110US-59，SUV110US-42，SUV110US-77

SUV110UH-34，SUV110DL-10，SUV90DL-10，SUV40GS-65，SUV40DL-2

笔式灯特种灯

SP-3-2H，SP-3-2L，SP-5-2H，SP-5-2L，SL5DH，SL5UH-4

1-2实验室小型设备

PL16-110，PL17-110，PL21-200，PM2003

1-3大型生产设备

1-3-1抽屉式

PM906B，PM908B，PM11010B

1-3-2传送带式

PM9020C，PM9010C，PM11010C，PM20036C

1-4安定器/电源

SEU1002B3(200V)，SEU1101B(100V)HB100A-1，SEU2002SB，SEU2002WB

UVB110(桌上型电源)，UE1101N-19 (PL16用电源)，UVE-200J (PL21用电源)

2光固化产品

2-1普通高压汞灯

HL100G，HL400DL，HL1000DL-15，HL2000DL，HL3000DL

2-1-1手提式

HLR100T-2，HLR400T-1，HLR400F-21~28，HLR1000T-1，HLR1000F-21~28

2-1-2桌面式

HCT400B-25/28 HCT1000B-25~28

2-1-3传送带式

HCC400B-25/28 HCC1000B-25~28

2-2金卤灯

HM1500DH-3HM3000DH-3

2-2-1手提式

MLR1500B-23/28 MLR3000B-23~28

2-2-2桌面式

MCT1500-24/28

2-2-3传送带式

HM15001C-2

安定器/电源

2-4电源

HB100A-1 HB100A-2（手提式HLR100T-2电源）

HB400A-5（手提式HLR400T-1用电源）

HB1000A-5(手提式HLR1000T用电源)

3光化学产品

3-1光化学灯管

HL100CH-14HL400BHHL1000JHHL1000WHL2000J

小型准分子照射装置，准分子清洗机XPL-1502-X

高压水银灯HL100、HL1500、HL100G、HL400BH-8、HL4000DL-1

低压水银灯UVL6～20、SUV40～110、EUV200、SUV110P、EUV200W、

紫外线清洗装置

SEN表面处理装置XPL1502-X

SEN桌上型光表面处理装置PL21-200管

SEN桌上型光表面处理装置PL17-110管

SEN桌上型光表面处理装置PL16-110管

日本SEN特殊光源清洗机PM20012管

SEN特殊光源PM9018B清洗装置管

SEN紫外线大型清洗机PM11012管

日本SEN_PM20036C清洗机管

日本SEN_PM11020清洗机管

紫外线清洗灯

日本SEN UV紫外线灯管EUV200U管

日本SEN SUV90US-88紫外线清洗灯管

日本SEN SUV90US-51/UV紫外线灯管

日本SEN紫外线清洗灯EUV200WH-47管

日本SEN清洗灯 EUV200GS-51管

日本SEN紫外线清洗灯EUV200NS-40管

日本SEN SUV90U紫外线UV光清洗灯管

日本SEN UV清洗灯SUV110PL-23A管

SEN特殊光源EUV200NS-36紫外线清洗灯管

SEN特殊光源 清洗灯EUV200NS-35管

日本SEN紫外线清洗灯EUV200US-77管

紫外线固化灯

SEN日本HL2000DL紫外线UV固化灯管

日本SEN紫外线UV固化灯HM3000DH管

日本SEN紫外线固化灯HM1500DH管

日本SEN HL3000DL/HL3000DH固化灯管

SEN日本HL3000J紫外线UV固化灯管

日本SEN紫外线固化灯HL2000JH管

日本SEN紫外线固化灯HL1000JH管

日本SEN HL400BH固化灯管

SEN日本HL100G紫外线UV固化灯管

日本SEN紫外线固化灯HL400JH管

SEN紫外线固化灯HL400DL特殊光源管

SEN LIGHTS紫外线固化灯HL100J管

光化学/阴冷极灯

特殊光源SEN SP-5-2L冷阴极灯管

SEN冷阴极笔式灯SL10UH管

SEN冷阴极笔式灯SL8UH，SL8UH管

日本SEN冷阴极笔式灯SL5UH管

日本SEN冷阴极笔式灯SL5DH管

日本SEN冷阴极笔式灯SL4UH管

日本SEN冷阴极笔式灯SL2UH管

SEN冷阴极笔式灯（特种）SP-5-2H管

SEN SP-3-2L冷阴极笔式灯（新品）管

日本SEN冷阴极笔式灯SP-3-2H管

紫外线杀菌灯

日本SEN紫外线杀菌灯SUV110DL管

日本SEN紫外线杀菌灯SUV110DH管

日本SEN紫外线杀菌灯SUV90DL管

日本SEN紫外线杀菌灯 SUV90DH管

日本SEN紫外线杀菌灯SUV70DH/SUV70DL管

日本SEN紫外线杀菌灯SUV40DL管

日本SEN紫外线杀菌灯SUV40DH管

日本SEN紫外线杀菌灯UVL20DL，UVL20DL管

日本SEN紫外线杀菌灯UVL20DH管

日本SEN紫外线杀菌灯UVL15DL管

日森SEN紫外线杀菌灯UVL15DH管

日本SEN紫外线杀菌灯UVL10DH管

安定器/电源

SEN安定器/电源REHL-40100B1-SR（特殊制品）管

SEN安定器/电源_ME3000C管

SEN安定器/电源_ME3000A-3管

SEN安定器/电源_MB3000C管

SEN安定器/电源_MB3000T-3管

SEN安定器/电源_MB3000A-3管

SEN低压水银灯安定器/电源MB1500T-3管

SEN安定器/电源_MB1500T管

SEN安定器/电源_MB1500A-3管

SEN电源_HB1000A-3(HLR1000F-21用电源)管

SEN_电源HB400A-1（手提式HLR400F-21用电源）管

SEN电源_HB100A-2（手提式HLR100T-2电源）管

SEN电源HB100A-1（手提式HLR100T-2用电源）管

SEN低压汞灯安定器/电源_HE3000C管

SEN低压汞灯安定器/电源_HB3000E管

SEN低压汞灯安定器/电源__HB3000C管

SEN_低压水银灯用安定器HB3000A管

日本SEN_安定器/电源HE2000C管

日本_SEN_安定器/电源HB2000E-3管

日本SEN安定器，电源HB2000C管

日本SEN_安定器/电源HB2000A-3管

日本SEN_低压汞灯安定器/电源HE1000C管

SEN安定器/电源HB1000E-3（日本制造）管

日本SEN_电源HB1000C管

SEN低压汞灯安定器/电源HB1000A-3管

SEN低压水银灯用安定器HB400E-1管

日本SEN_电源HB400A-5管

SEN安定器_电源HB100P管

SEN低压水银灯用安定器HB100A-1管

SEN低压汞灯安定器/电源_SEU2002WB5管

SEN低压水银灯用安定器SEU2002SB5管

日本SEN低压水银灯用安定器SEU1102B3管

日本SEN安定器/电源RA/C1101H1，RB/D1101H1管

SEN安定器/电源C6/5H1/21110-A1

日本SEN电源/安定器REHL-40100A1-SR（特殊制品）管

日本SEN安定器FBAB-21L-US9-PBF（特殊制品）管

日本SEN_FBAB-151L-US9-PBF安定器（特殊品）管

SEN电源/安定器MI1102（特殊型号）管

SEN低压汞灯安定器/电源UVE-200J (PL21用）管

日本SEN_UE1101N-19 (PL16用电源/安定器)管

SEN_安定器UVB-110(桌上型电源)管

SEN低压汞灯安定器/电源UE-200管

日本SEN_低压汞灯安定器/电源UE-110管

日本SEN低压汞灯安定器/电源UVB-40管

UV固化装置

SEN特殊光源HLR1000F-21手提式固化机管

HLR1000F-22、HLR1000B-23、HLR1000B-24、HLR1000F-25、HLR1000F-26、HLR1000B-27、HLR1000B-28

SEN特殊光源HLR400B-28手提式固化机管

HLR400F-21、HLR400F-22、HLR400B-23、HLR400B-24、HLR400F-25、HLR400F-26、HLR400B-27

SEN特殊光源HM15001C-2传送带式固化机管

SEN特殊光源MCT1500-28桌面式固化机管

SEN特殊光源MCT1500-24桌面式固化机管

SEN特殊光源MLR3000B-28手提式固化机管

SEN特殊光源MLR3000B-23手提式固化机管

SEN特殊光源MLR1500B-28手提式固化机管

SEN特殊光源MLR1500B-23手提式固化机管

SEN特殊光源HCC1000B-28传送带式固化机管

SEN特殊光源HCC1000B-25传送带式固化机管

SEN特殊光源HCC400B-28传送带式固化机管

SEN特殊光源HCC400B-25传送带式固化机管

SEN特殊光源HCT1000B-28桌面式固化机管

电源HE-100C(S)、

SEN特殊光源HCT400B-25桌面式固化机管

电源HB1000E-3

SEN特殊光源HLR1000T-1手提式固化机管

HLR1000T-21、HLR1000T-22、HLR1000T-23、HLR1000T-24、HLR1000T-25、HLR1000T-26、HLR1000T-27、HLR1000T-28、

SEN特殊光源HLR400T-1手提式固化机管

SEN特殊光源HLR100T-2固化装置（手提式）管

代理*
光源部：EYE岩崎、SEN日森、USHIO牛尾、REVOX莱宝克斯、CCS希希爱视、SERIC索莱克、TOPCON拓普康、NDK电色、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、FUNATECH船越龙、SAKAZUME坂诘电子、HIKARIYA光屋、KKIMAC、DNP大日本科研
计测部：NEWKON新光、SANKO三高、SAKAGUCHI坂口电热、OKANO冈野、ONOSOKKI小野、TOKYODENSHOKU东京电色、NDK日本电色、MITUTOYO三丰、PEACOCK孔雀、KYOWA共和
科仪部：EYELA东京理化、DRY-CABI德瑞卡比、T&D天特、ASKER高分子计器、KUSANO草野科学、IMV艾目微，AND爱安得、OBISHI大菱、TAKASAGO高砂、ASONE亚速旺、ELMEX安科生物、SAKURAI樱井、NS日本精密科学、SONIC索尼克、SIBATA柴田、SANSYO三商、HEIDON新东