但是，在退火过程中，Cu与low-k（比如SiCOH）介质直接接触，将会导致Cu在介质材料中扩散；而且形成的MnSixOy薄膜导电性较差，一般为绝缘体，会导致RC延迟增加。以脉冲的方式向反应腔中通入Mn(EtCp)2蒸气，使之与衬底表面的Si-H或Si-OH活性基团发生反应（Mn(EtCp)2中某一个化学键断裂与衬底表面的悬挂键成键），在衬底上形成密集且均匀且密集吸附的Mn(EtCp)2层；通入吹洗用气体，以将反应腔中多余的Mn(EtCp)2蒸气以及气态的反应副产物吹洗干净；以脉冲的方式向反应腔中通入NH3气体，同时开启等离子体发生器使其电离产生NH3等离子体，并与吸附于衬底表面的Mn(EtCp)2发生化学反应（NH3等离子体将与Mn连接的苯环键打断，并与Mn成键）！

　　其实，作为一种氮化材料，氮化锰可应用在不同的领域中。由于锰、氮的各种作用，在炼制高强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、氮元素！以单质形式加入锰、氮两种元素时，存在如氮的溶解度低、密度小、不易加入及氮的添加量不易控制等缺点。然而，以氮锰化合物形式加入时，不仅易于加入，并且锰、氮的利用率也高！为了能够加深大家对氮化锰的了解，掌握更多关于氮化锰的应用范围，将向大家简单的讲一下氮化锰薄膜的制作方法！传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉积CuMn复合材料，然后使用热退火处理，使Mn扩散介质表面来实现！

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　　 我司主营其他未分类领域的企业，主要以氮化硅锰为主要产品，公司位于河南省安阳市龙安区，更多产品信息详情请上http://www.aycbnc.com/查看。安阳市世鑫氮化制品有限公司愿与社会各界朋友共同合作、共创双赢、共创精彩明天！

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　　长期以来炼钢厂生产含氮钢种使用的增氮剂为钒氮合金。随着铁合金市场价格的调整需寻求一种价格低廉的合金在保证钢质量的前提下满足钢种对氮含量的要求.氮化硅锰中氮含量平均为为确定氮化硅锰能否在炼钢上用作增氮剂以及对钢质量有何影响进行了氮化硅锰在钢中应用试验研究!实验室研究为氮化硅锰的加入方法及增氮效果并初步掌握其收得率情况在感应炉上进行了实验室研究！实验过程中氮化硅锰随炉料一同加入量为22g，实验结果氮化硅锰中氮的收得率平均为22%。

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　　直到后开发出了氮化硅锰（MnSiN）合金，氮化物才真正有效实现了冶炼添加剂的效果!氮化硅锰合金(MnSiN)中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)。锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用。锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性.氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性。

　　氮化硅锰中的主要物质是氮化锰(Mn5N2)和氮化硅(Si3N4)!锰在炼钢中起着脱氧、脱硫和合金化等作用.锰能消除或减弱因硫引起的热脆性，从而提高钢的热加工性能；还能细化珠光体晶粒并提高珠光体钢的强度，同时也能提高钢的淬透性。氮化硅具有高温热稳定性、抗热震性、抗冷热冲击性、化学稳定性和良好的电绝缘性及质硬性！氮化硅锰合金兼容了氮化硅和氮化锰的特殊性能，并且硅、锰与氮同时结合后，其性能也更加优越。增氮有些微合金化钢中，能充分发挥微合金化元素的作用，节约微合金化元素的用量，有效降低生产成本.