微波电真空器件包括速调管、行波管、磁控管、返波管、回旋管、虚阴极振荡器等，利用电子在真空中运动及与外围电路相互作用产生振荡、放大、混频等各种功能。微波半导体器件包括微波晶体管和微波二极管，具有体积小、重量轻、可*性好、耗电省等优点，但在高频、大功率情况下，不能完全取代电真空器件。微波集成电路是将具有微波功能的电路用半导体工艺制作在砷化镓或其他半导体材料芯片上，形成功能块，在固态相控阵雷达、电子对抗设备、电子设备、微波通信系统和超高速计算机中，有着广阔的应用前景!

　　微波组件设计中的腔体效应微波组件是有源相控阵雷达中的关键部件之一，是通过装在盒体内的微波器件来实现雷达微波信号的功率放大、低噪声放大和变频等功能。随着雷达技术和微波集成电路(MonolithicIntegratedCircuit，MMIC)技术的发展，对其尺寸的要求进一步提高!腔体效应是指微波组件的形状、尺寸和电路布局等结构参数对S参数的影响，这些结构参数对组件的性能指标和增益稳定性起着决定性作用！

　　由于微波组件内部结构复杂，再加上器件对腔体的微扰，尚无非常完整的理论支持微波腔体的设计.工程上比较常见的方法是加吸波材料，通过合理的腔体尺寸避开工作频带等!在微波电路设计中，腔体效应是需要重点考虑的因素，由于微波电路的组成较为复杂，需要引入数值仿真工具进行分析!首先选择合理的腔体尺寸。在腔体尺寸选定的情况下，可以通过改变微带线的布局来改变腔体的谐振特性.当谐振频率较低时，可以忽略该谐振频率点对微波电路的影响！

　　实现基板大面积接地互连有三种工艺方法：螺钉压紧接地法；钎焊接地法；导电胶接地法。芯片贴装技术微波组件使用的微波及控制元器件较多，为了提高组装密度和降低封装损耗，绝大多数微波及控制元器件皆以裸芯片形式安装!实现芯片安装的方法有两种：合金贴装法和粘结剂贴装法。引线键合互连引线键合是通用的芯片键合技术，能满足从消费类电子产品到大型电子产品、民用产品到军用产品的广泛需求，如今全球超过96%的IC芯片都使用引线键合！

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　　而传统的组装方式与新材料、新工艺相结合是微波组件组装工艺技术的现状!由MPT的工艺流程可归纳出微波组件组装的关键工艺技术有如下4个方面：基板/载体大面积接地互连；芯片贴装；引线键合互连；密封！每种工艺在实际研制生产中有着多种实现方法，应用时需根据产品的不同特点和具体要求做适当选择，下面将逐一介绍这四种工艺的具体实现方法，并对微波组件组装技术的新工艺进行展望.基板/载体大面积接地互连综合考虑材料特性、结构需求、成本等方面因素，大多数微波组件的基板与盒体都分开制造，而两者的大面积接地互连质量，将直接影响微波组件的接地效果.

　　故障通常是在经过多次的环境和机械应力等试验后，由于累积效应和疲劳作用后才出现!微波组件微波组件是利用各种微波元器件（至少有一个是有源的）和其他零件组装而成的产品!微波组件的关键组装工艺技术组装技术是微波组件研制、生产的重要环节，如何实现各种微波、控制元器件的高密度、高一致性、高可靠性组装是未来微波组件组装技术的研究方向.以SMT为基础的微组装技术（MPT:MicroelectronicPackagingTechnology）已经成为微波组件组装技术的主流，并且微波组件组装技术正向高密度、立体组装方向发展。

　　微波功率模块是通过采用固态功率合成技术，将多个固应用实例固态微波功率器件组合形成的器件，具有效率高、使用方便等优点，对雷达、通信、电子对抗等电子装备实现全固态化有重要意义。微波振荡器（微波源）是微波系统中的重要器件，是电子装备的心脏，对其性能有直接影响！例如，在高功率微波系统中，高功率微波振荡器决定其杀伤效能；在雷达系统中，微波振荡器决定雷达的作用距离。微波振荡器将进一步向高功率、高效能、小型化、耗电省、成本低的方向发展!