热激光激发显微镜采用ThermalLaserStimulation-TLS技术,配备高清光学显微镜和高功率激光器,聚焦定位集成电路板元器件进行失效分析。热激光激发显微镜TLS的激光束可局部加热元器件,读取晶体管电流消耗数据,评估电子元器件失效与否。111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111111