温度范围 16至26℃ 温度漂移 每小时 2.0k 每24小时 5.0k 温度梯度 垂直方向 1.0k/m 水平方向 1.0k/m 　 型号 C121210 C122010 C123010 测量范围 X轴 1205mm(48") 1205mm(48") 1205mm(48") Y轴 1205mm(48") 2005mm(80") 3005mm(120") Z轴 1005mm(40") 1005mm(40") 1005mm(40") 测量精度* E=(2.5+3L/1000)μm (当使用TP200时) E=(2.3+3L/1000)μm (当使用MPP-100时) R=2.2 μm (当使用TP200时) R=2.0 μm (当使用MPP-100时) 分辨率 0.0001mm(0.1μm) 导向方式 各坐标轴上的空气轴承 驱动速度 CNC模式 8-300mm,合成速度520mm/s 操纵杆模式 0-80mm/s(高速模式) 0-3mm/s(低速模式) 0.05mm/s(微进给模式) 测量速度 5mm/s 测量加速度 各轴加速度0.1G, 合成加速度017G 工件 高度 1200mm(4.7") 重量 2000kg(4400ibs.) 2500kg(5500ibs.) 3000kg(6600ibs.) 质量 4050kg(8910ibs.) 6150kg(13530ibs.) 9110kg(20042ibs.) 气压 0.4Mpa 空气消耗量 60升/分(在正常条件下),气源:120升/分