当灭弧室真空度正常时，仅需几百伏的电压就可以维持带电触头与中间屏蔽罩之间由场致发射引起的电子电流，屏蔽罩积累的电荷使得屏蔽罩上的电位较高，高可接近电源电压的峰值，且比较稳定；真空断路器的金属导杆和触头与屏蔽罩之间相当于一个电容器，真空断路器的屏蔽罩对地也相当于一个电容器!当真空度降低时，灭弧室内的气体密度变大，内部气体压力的升高将导致气体分子、金属粒子、各种粒子增多，从而引起绝缘特性下降，预击穿电压降低，发生预击穿的几率增多，产生预放电，导致屏蔽罩电位下降，并使真空断路器周边电场强度发生变化！

　　耦合电容法是根据局部放电原理提出的-在线监控技术！虽然这种方法可以实现灭弧室真空度的在线监控，但只能给出定性指示，测试灵敏度有限，也不能满足灭弧室真空度的测量范围!对于设备管理单位，在建立真空度在线监控系统并积累一定数据后，可以进行垂直和水平分析，以快速有效地发现异常真空断路器在运行过程中真空度会逐渐下降，真空泄漏到一定程度，开关柜会爆炸，严重影响整个高压柜室的连续燃烧。虽然国家实行了定期维护制度，但由于现场真空度无法检测，只能通过破坏性高压试验进行验证！

真空度在线监测

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　　为此，天线传感器发射、采集元件必须尽可能安放在屏蔽罩的附近，在硬件的各个环节上必须采用屏蔽、隔离、滤波、放大，选择合适的频带等措施避开干扰噪声的频谱。磁控放电法(离线检测)磁控放电法测试真空窄灭弧室的真空度是目前公认的高精度离线检测方法，但该方法要求真空断路器处于开关状态，并在火弧室上施加同步磁场和高压电场脉冲。试验方法比较复杂，不能用于真空灭弧室真空中风的在线检测.灭弧室静触端安装真空传感器法真空灭弧室制造过程中，静触端安装真空传感器，用真空传感器测量真空灭弧室内的真空度!

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　　光电转换方法采用光纤传输信号，具有良好的抗干扰性！但由于光传感器的电场变化、安装位置和系统电压，光电和光转换元件与耦合电容器相同，成本较高近年来，国内外专家学者一直在探索真空开关真空度在线监测的有效方法，并提出了一项建议-一些具体的技术解决方案.主要采用旋转电场探头屏蔽电位法、光电变换法、耦合电容法、冷阴极磁控放电法等，但由于各方案存在一些固有缺陷，真空开关真空度在线监控技术远未达到大规模推广应用!

　　特别是对于安装在整机上的真空灭弧室，由于其周围的绝缘支架也有泄漏，这些泄漏的总和具有更大的不稳定性和不可预测性，以及值10-4Pa数量级真空灭弧室的电离电流相当!我们采用两次启动高压的方法，扣除漏电电流，了安装在整机上或待安装的真空灭弧室的真空测量精度。◆由于几何尺寸和材料的不同，内置多个真空灭弧室的测量曲线真空灭弧室的放电电荷不同，当内部真空度和外部激励电源一定时，有相当大的差异!为了准确测量，每个真空灭弧室必须有相应的计算曲线，从电离电荷到真空度!